压差变送器实时记录各不同洁净级别或相同洁净级别洁净室之间的压差值,通过采用离线压差计来测试和对比主要洁净室房间压差变送器数值,确认其环境监测系统的压差变送器测试数值是否合格。
测试步骤为:
(1)记录各所在主要洁净室压差变送器记录的压差读数;
(2)取出压差变送器,装上经校准的标准压差计;
(3)记录每个标准压差计的读数,并与压差变送器记录的数值进行比较。
2.2.3.1 判定标准在洁净室关门状态下,各房间压差变送器读数应在标准压差计读数的±1.0 Pa 以内。2.2.3.2 测试结果压差变送器测试结果如表 3 所示。
通过该测试数据表明,环境监测系统压差在线测试数据与离线测试数据基本一致,达到实时、准确记录的要求,为洁净室内相对或绝对压差提供准确的实时数据采集,减少因压差测量不准确导致生产质量事故的发生,此对比测试方法有效。